Chung-Hua University Repository:Item 987654321/41011
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    题名: Microwave Annealing
    作者: 賴瓊惠
    Lai, Chiung-Hui
    贡献者: 電子工程學系
    Electronics Engineering
    关键词: 微波退火
    Microwave Annealing
    日期: 2012
    上传时间: 2014-07-18 13:31:15 (UTC+8)
    摘要: 微波退火可以在低溫下活化參雜物
    By use of Microwave Annealing, donpants in the implanted silicon could be well-activated at low temperatures without diffusion.
    显示于类别:[電子工程學系] 研討會論文

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