Characterization of Rapid Thermal and Micro-wave Annealed Germanium Thin Films Grown by E-beam Evaporation on Glass Substrates

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題名:	Characterization of Rapid Thermal and Micro-wave Annealed Germanium Thin Films Grown by E-beam Evaporation on Glass Substrates
作者:	賴瓊惠 Lai, Chiung-Hui
貢獻者:	電子工程學系 Electronics Engineering
關鍵詞:	微波退火 Micro-wave Annealed
日期:	2013
上傳時間:	2014-07-01 10:29:20 (UTC+8)
摘要:	In this paper, we used the electron beam (e-beam) evaporation to deposit Ge thin film on glass, and used microwave annealing (MWA) system of 5.8 GHz frequency for thin film crystallization. Then, we compared the MWA experiment results of sample sheet resi
顯示於類別:	[電子工程學系] 期刊論文

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