Sensitivity Improvement in SGOI Biosensor by Varying Structure and Oxidation

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题名:	Sensitivity Improvement in SGOI Biosensor by Varying Structure and Oxidation
作者:	賴瓊惠 Lai, Chiung-Hui
贡献者:	電子工程學系 Electronics Engineering
关键词:	生物感測器 biosensor
日期:	2011
上传时间:	2014-06-27 02:30:02 (UTC+8)
摘要:	藉由不同的結構與氧化改善SGIO的敏感度 the improvement of sensitivity of SiGe nanowire biosensor could be realized by structural and oxidation effect. The transition current in thin and high transition mobility SiGe layer can be condensed by a-Si/SiGe stacked structure. The Ge fraction of the
显示于类别:	[電子工程學系] 研討會論文

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