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    題名: Oxidation study of Ge Condensation on SGOI Nanowire Biosensor Fabrication
    作者: 賴瓊惠
    Lai, Chiung-Hui
    貢獻者: 電子工程學系
    Electronics Engineering
    關鍵詞: 生物感測器;靈敏度
    SGOI;biosensor;sensitivity
    日期: 2012
    上傳時間: 2014-06-27 02:29:36 (UTC+8)
    摘要: 研究不同的氧化氛圍與氧化時間與奈米線結構對生物感測器的靈敏度的最佳參數
    Oxidation ambient, oxidation time and nanowire structure were investigated. Oxidation temperature was fixed at 950oC to prevent undesirable consequence if
    inappropriate lower or higher of temperature during Ge condensation. The oxidation time is 3min and
    顯示於類別:[電子工程學系] 研討會論文

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