Chung-Hua University Repository:Item 987654321/32075
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    题名: Fabricating microstructures on CVD diamond film
    作者: 馬廣仁
    Ma, Kung-Jen
    贡献者: 工程科學博士學位學程
    Ph.D. Program in Engineering Science
    关键词: diamond film;thermal annealing;reactive ion etching;RIE;microstructure
    日期: 2012
    上传时间: 2014-06-27 01:43:39 (UTC+8)
    摘要: Diamond has many advanced properties which may provide
    potential solutions to various engineering problems. This study focuses on
    fabricating micro-structures on CVD diamond film. A thin layer of Au or Pt
    together with thermal annealing process is used to
    显示于类别:[工程科學博士學位學程 ] 期刊論文

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