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    題名: Effects of La2O3 capping layers prepared by different ALD Lanthanum Precursors on Flatband Voltage Tuning and EOT scaling in TiN/HfO2/SiO2/Si MOS structures
    作者: 吳建宏
    rossiwu
    貢獻者: 電子工程學系
    Electronics Engineering
    關鍵詞: La2O3;TiN;HfO2;ALD;MOS
    日期: 2011
    上傳時間: 2014-07-01 10:33:14 (UTC+8)
    摘要: The use of thin capping layers that are inserted between the gate metal and dielectric layers have been shown to simultaneously
    cause a negative flatband voltage (Vfb) shift and to stabilize low threshold voltage (VTH). A major challenge with capping laye
    顯示於類別:[電子工程學系] 期刊論文

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