Effect of the Mixed N2/O2 Oxidation Process on Improvement of the Sensitivity of the SiGe Nano-Wire

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题名:	Effect of the Mixed N2/O2 Oxidation Process on Improvement of the Sensitivity of the SiGe Nano-Wire
作者:	賴瓊惠 Lai, Chiung-Hui
贡献者:	電子工程學系 Electronics Engineering
关键词:	矽鍺在絕緣上;生物感測器;靈敏度 SGOI;biosensor;sensitivity
日期:	2011
上传时间:	2014-07-01 10:30:01 (UTC+8)
摘要:	研究不同混合氣體氮氣和氧氣比例的氧化過程對矽鍺奈米線的靈敏度的改善 Ge condensation has been reported to improve the hole mobility of the SiGe-on-insulator (SGOI). Our previous studies have shown that the higher Ge fraction of Si1-xGex nano-wire exhibits higher sensitivity. In this work, we investigated the effect of diff
显示于类别:	[電子工程學系] 期刊論文

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