奈米類鑽碳膜之顯微結構與機械性能研究

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Title:	奈米類鑽碳膜之顯微結構與機械性能研究
Authors:	林育立 Lin, Yuli
Contributors:	機械工程學系 Mechanical Engineering
Keywords:	類鑽碳;Diamond-like carbon;電弧離子鍍膜;Arc ion deposition;拉曼散射光譜儀;Raman;場發射歐傑電子顯微鏡;FE-AES;場發射歐傑電子顯微鏡;FE-AES;奈米壓痕儀;Nanoindenter 類鑽碳;Diamond-like carbon;電弧離子鍍膜;Arc ion deposition;拉曼散射光譜儀;Raman;場發射歐傑電子顯微鏡;FE-AES;場發射歐傑電子顯微鏡;FE-AES;奈米壓痕儀;Nanoindenter
Date:	2009
Issue Date:	2014-06-27 03:07:27 (UTC+8)
Abstract:	本研究是以SUS440C不銹鋼材做為基材，利用電弧離子鍍膜設備(arc ion deposition)來進行類鑽碳膜 (DLC)鍍膜研究，用以提升材料表面硬度及耐磨耗特性。研究中使用光學顯微鏡(OM)、場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)、場發射歐傑電子顯微鏡(FE-AES) 與拉曼散射光譜儀(μ-Raman)來觀察與分析DLC膜的顯微結構與表面化學組成。DLC鍍膜層之機械性質檢測則是以奈米壓痕儀(nanoindenter)量測其微硬度值與楊氏係數，以及進行奈米刮痕測試(nanoscratc 本研究是以SUS440C不銹鋼材做為基材，利用電弧離子鍍膜設備(arc ion deposition)來進行類鑽碳膜 (DLC)鍍膜研究，用以提升材料表面硬度及耐磨耗特性。研究中使用光學顯微鏡(OM)、場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)、場發射歐傑電子顯微鏡(FE-AES) 與拉曼散射光譜儀(μ-Raman)來觀察與分析DLC膜的顯微結構與表面化學組成。DLC鍍膜層之機械性質檢測則是以奈米壓痕儀(nanoindenter)量測其微硬度值與楊氏係數，以及進行奈米刮痕測試(nanoscratc
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